고진공, 초고진공 및 초고진공을 얻기 위해 여러 개의 진공 펌프를 직렬로 연결하여 펌핑 작업을 완료하는 장치를 구성합니다. 따라서 사용자가 펌프의 작동 원리, 주요 성능, 구조적 특성 및 분류를 올바르게 이해하기 위해 경제적인 진공 펌프를 선택하는 것이 매우 중요합니다.

진공 펌프는 진공을 생성, 개선 및 유지하는 데 사용되는 장치입니다. 작동 원리에 따라 기본적으로 가스 전송 펌프와 가스 포집 펌프의 두 가지 유형으로 나뉩니다.

가스 이송 펌프는 흡입 포트에 도달하기 위해 펌프에서 가스를 지속적으로 흡입 및 배출할 수 있는 진공 펌프입니다. 이 가스 전달 펌프에는 양변위 펌프와 운동량 전달 펌프의 두 가지 범주가 있습니다.

용적식 진공 펌프는 펌프 챔버의 체적을 주기적으로 변경하여 흡입, 압축 및 배기를 완료하는 장치입니다. 가스는 배출되기 전에 압축됩니다. 이 펌프는 왕복식과 회전식의 두 가지 유형으로 나뉩니다.

(1) 왕복 진공 펌프는 펌프 챔버에서 피스톤의 왕복 운동을 사용하여 가스를 흡입, 압축 및 배출합니다. 따라서 피스톤 진공 펌프라고도합니다.

(2) 회전식 진공 펌프 펌프 챔버에서 피스톤의 회전 운동을 사용하여 가스를 흡입, 압축 및 배출합니다. 이 범주에 속하는 여러 유형의 펌프가 있습니다.

1) 오일 밀봉 기계식 펌프는 오일을 사용하여 다양한 가동 부품의 틈새를 밀봉하고 유해한 공간을 줄이는 회전식 용적식 진공 펌프입니다. 이러한 종류의 펌프에는 일반적으로 가스 밸러스트 장치가 있으므로 가스 밸러스트 진공 펌프라고 합니다. 구조적 특성에 따라 로터리 베인 펌프, 고정 베인 펌프, 슬라이드 밸브 펌프, 트로코이드 펌프 및 다중 챔버 로터리 베인 펌프로 나뉩니다.

2) 건식 진공 펌프. 현재 소위 건식 진공은 일반적으로 대기압에서 10-2Pa의 압력 범위에서 작동할 수 있는 진공 펌프; 펌핑 공기 통로(예: 펌프 캐비티)에는 진공 펌프를 사용할 수 없습니다. 오일 및 밀봉 액체. 배기구는 대기와 연결되어 있으며 연속적으로 대기로 배기할 수 있는 펌프를 건식 진공 펌프라고 합니다. 작동 원리에 따라 다단 루트 펌프, 다단 피스톤 펌프, 클로 펌프, 스크류 펌프, 스크롤 펌프 등과 같은 건식 용적식 진공 펌프도 있습니다. 이런 종류의 펌프는 더 이상 기름에 오염되지 않으며 최근에 개발된 일종의 펌프입니다.

3) 액체 링 진공 펌프, 다중 블레이드 로터가 펌프 케이싱에 편심 설치됩니다. 로터가 회전하면 액체(물 또는 기름)가 펌프 케이싱으로 던져져 펌프 케이싱과 동심원인 액체 링을 형성합니다. 진공 펌프의 블레이드는 흡입, 압축 및 배기를 달성하기 위해 주기적으로 부피가 변화하면서 여러 개의 작은 부피를 형성합니다. 액체 링은 가스를 압축하는 역할을 하기 때문에 액체 피스톤 진공 펌프라고도 합니다.

4) 루츠 진공 펌프, 펌프에는 반대 방향으로 동시에 회전하는 두 개의 이중 리프 또는 다중 로브 로터가 장착되어 있으며 로터 사이와 로터와 펌프 케이싱의 내벽 사이에 일정한 간격이 있습니다. 내부 압축이 없는 진공 펌프에 속합니다. 용도에 따라 습식 루츠 펌프, 직접 배기 대기 루츠 펌프 및 기계식 부스터 펌프로 구분됩니다.